金属薄膜式热敏电阻器在压力传感器中的应用

　　金属薄膜式热敏电阻器应用于压力传感器中 ，即可以测温 ，又可以对压力进行温度补偿 ，研究了金属薄膜式电阻器的温度特性和制备工艺，讨论了铂、镍、银薄膜式电阻器在压力传感器中的应用。
　　金属薄膜电阻对温度敏感 ，选择其电阻温度系数高 ，阻值大 ，并且在大温度范围稳定的金属薄膜电阻 ，作为传感器的热敏元件 ，特别是将其集成在固态压力传感器的芯片上 ，实现了传感器的小型化、集成化和多功能化 ，另外 ，金属薄膜式热敏电阻器 ，还具有响应快、。