金属薄膜式热敏电阻器应用于压力传感器中 ,即可以测温 ,又可以对压力进行温度补偿 ,研究了金属薄膜式电阻器的温度特性和制备工艺,讨论了铂、镍、银薄膜式电阻器在压力传感器中的应用。 金属薄膜电阻对温度敏感 ,选择其电阻温度系数高 ,阻值大 ,并且在大温度范围稳定的金属薄膜电阻 ,作为传感器的热敏元件 ,特别是将其集成在固态压力传感器的芯片上 ,实现了传感器的小型化、集成化和多功能化 ,另外 ,金属薄膜式热敏电阻器 ,还具有响应快、。
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